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以半导体梳条结构为核心的先进微纳器件设计与应用研究进展与前沿探索
2026-07-09

"以半导体梳条结构为核心的先进微纳器件设计与应用研究进展与前沿探索

本文围绕以半导体梳条结构为核心的先进微纳器件设计与应用研究进展与前沿探索展开系统综述。梳条结构作为典型的微纳尺度互指电极或周期性栅指结构,在高灵敏传感、低功耗电子器件以及多物理场耦合调控中展现出独特优...